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Unità a ricircolazione di rulliKUVE (Unità a ricircolazione di sfere)
 
CONTATTO
Applicazioni

Litografia

Guide lineari ad elevata precisione per tavole con sistema a coordinate

I chip vengono rivestiti con una vernice estremamente sensibile alla luce per potervi applicare una struttura. La vernice sensibile alla luce viene esposta alla luce attraverso una maschera decomponendosi nei punti illuminati.

Nella produzione di semiconduttori della prossima generazione si mira a dimensioni strutturali di 60 nm per raggiungere una maggiore densità di memoria ed aumentare la velocità di contatto.

Le tavole con sistema a coordinate azionate con motori lineari assicurano il movimento del substrato e della maschera di proiezione. La base della macchina è formata da una struttura in granito stabile che smorza le vibrazioni e da una guida molto precisa come ad esempio l'unità a ricircolazione di rulli RUE di produzione INA. Questa guida particolarmente silenziosa si distingue per un funzionamento e per una resistenza allo spostamento uniforme - per l'elevata ripetibilità e per la precisione durante il posizionamento.